1) 直流板条式（DC Slab）CO2激光器，这种激光器被誉为CO2激光器新的里程碑，光束质量极好（k > 0.8）,消耗气体少（0.3L / h），运行可靠、免维修，运行费用低，商品型的已达3500W 。
2）二极管泵浦的YAG激光器，二极管泵浦可以使用近20000小时，而LAMP泵浦时，500小时左右就要更换泵浦灯，该类激光器商品型的已达5000W。
3）CO激光器，波长5.3μm，是CO2激光的一半，发散角也为CO2激光的一半，同样的条件下，PD为CO2的4倍。
4）半导体激光器，波长0.85～1.65μm ，可用光纤传输，体积小，输出功率已达3 kW。
5) 准分子激光器，波长处于紫外波段，范围193～351nm，约是YAG激光器的1/5和CO2激光的1/50 ，单光子能量比大部分分子的化学键能都高，能深入材料分子内部进行加工，加工基理是基于光化学作用，在非放热效应下进行，因此，材料变形极小。准分子激光器还可调谐，功率水平在实验室已达千瓦级。